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Mikrosystemtechnik

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Entwurf signalverarbeitender Mikrosysteme. Einführung und Grundlagen
Mikrosystemtechnik. Grundlagen Praxis Trends
Micro System Technologies 91. 2nd International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components Berlin, October 29 - November 1, 1991
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Mikroproduktionstechnik im Großkammer-Rasterelektronenmikroskop - Analyse der Fertigung und der Montage



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