Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schaltkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.

Technologische Grundprozesse - Grundlagen der Halbleiterphysik für Siliziumbauelemente - Integrierte Widerstände und Kondensatoren - Der pn-Übergang - Der Metall-Halbleiter-Kontakt - Die Halbleiteroberfläche anhand des MOS-Varaktors - Der reale MOS-Transistor - Herstellungsprozess von Halbleiterbauelementen

Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H.G. Wagemann, TU BerlinDr. Tim Schönauer, Infineon Technologies AG